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微光显微镜侦测得到亮点之情况:会产生亮点的缺陷 - 漏电结(Junction Leakage); 接触毛刺(Contact spiking); (热电子效应)Hot electr;闩锁效应( Latch-Up);氧化层漏电( Gate oxide defects / Leakage(F-N current));多晶硅晶须(Poly-silicon filaments); 衬底损伤(Substrate damage); (物理损伤)Mechanical damage等。原来就会有的亮点 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse;biased diodes(break down) 等。

超声波扫描显微镜原理;利用脉冲回波的性质,激励压电换能器发射出多束通过耦合液介质传递到被测样品,精细研磨,在经过不同介质时会发生折射、反射等现象,通过阻抗不同的材料时会发生波形相位、能量上的变化等现象,经过一系列数据计算形成灰度值图片,可用来分析样品内部状况。作为无损检测分析中的一种,它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测(IQC)、失效分析(FA)、破坏性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次筛选、质量控制(QC)、及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。

在红外光显微镜中通常使用白炽灯照明,很多白炽灯能够发射比可见光更多的红外光,在这里色温是一个重要的参数。当灯丝的温度为24000K时,大发射是在光谱的1200nm处左右。当温度为33000K时,精细研磨机器,大发射在光谱的800nm处左右。使用特殊的滤光片就可以分离出所要求波长的红外线。红外光像的观察和聚焦可以使用像转换器或专门设计的电视扫描管来进行。用于红外光显微镜的像转换器有两种类型,另一种是“固体”类型,它是由一个光电导体层和一个电子发光层所组成,这两者被夹在可以提供交流电的两层薄透明导体层之间。相当于真空管阳极的电子发光层,对着光电导体层已经被红外光辐射轰击的区域发射可见光,从而形成了可见的像。另外,精细研磨机,已经设计制造出对直到3,500n m波长范围都敏感的电视管。在红外光显微照相中可以使用经过特殊敏感化处理的乳胶片,它在直到大约1300nm较低的红外光区域都是敏感的。

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