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所谓的微焦点X射线机是焦点尺寸可以达到几个微米，并且能够在0～225kV或更高恒电压模式下，以一定的功率（通常高为320W）连续工作的X射线机。 微焦点X射线机的焦点尺寸通常可以连续可调，从几微米直到0.2毫米或更高。

与常规X射线管相同，微焦点X射线管的阳极也是用循环油或水来冷却。 与常规X射线机不同的是，用于无损检测的微焦点X射线管是用真空泵来维持X射线管内的真空度（约为10-7）。 微焦点X射线管可以很方便的打开（即开放式或称为开管），用来更换不同的靶材以产生不同的X射线频谱；更换不同形状及大小的X射线窗口；以及更换阳极的类型… 如换上各种直径和长度的棒阳极，以满足不同检测任务的需要。 这些阳极棒的长度可达1500毫米，直径可从18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒阳极，我们可以用单壁内透照方式，以的缺陷检测灵敏度进行射线检测。

微焦点X射线机的主要技术参数有那些？

- 管电压范围：微焦点X射线管的高压工作范围。

- 大管电流：从阴极到阳极的大电流。

- 大功率：微焦点X射线管的大功率。

- 电子束聚焦能力（焦点）：在给定功率下的焦点尺寸，如：3μm@5W；0.2mm@320W。焦点一般连续可调。

- 细节分辨能力：通常公认的小的细节分辨能力为焦点尺寸的一半。

- 锥束角：在给定窗口直径下的X射线角。如：孔径2mm时，25°。

- 锥束角线均匀度：射线视场强度的均匀性，以百分比表示。

- X射线剂量率稳定性：X射线剂量随时间的变化性，以 百分比/小时 表示。

- 小焦距：通常用焦点到X射线管窗口外表面的距离来表示。

- 靶材料：通常有钨，钼，铜以及其它材料。

- 小高压稳定时间：系统在大电压和大功率模式下，从开机到稳定运行所需的时间。

- 其它参数：重量，尺寸，电源，漏电检测价格，及温度湿度要求等。

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