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超声波显微镜在失效分析中的应用

晶圆面处分层缺陷 锡球、晶圆、或填胶中的开裂晶圆的倾斜各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）。超声波显微镜的在失效分析中的优势非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构 可分层扫描、多层扫描 实施、直观的图像及分析 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计 可显示材料内部的三维图像 对人体是没有伤害的 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

自动聚焦显微镜的研究在高倍率显微图像的处理过程中，自动聚焦具有重要意义。本文对动态自动聚焦显微镜的清晰度自动检测系统和高精度位置随动系统进行了分析，提出了理想的清晰度检测方法评价参数的特征，叙述了微分峰值检测法的原理、实验结果、 控制系统的设计和整机性能评价。如有您需要订购，欢迎来电咨询我们公司，3D显微镜设备，为您提供详细介绍！

EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流，3D显微镜设备价格，包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管，可藉由EMMI定位，3D显微镜，找热点(Hot Spot 或找亮点)位置，进而得知缺陷原因，帮助后续进一步的失效分析。

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